上海推出超越摩尔研发试验线8英寸

 新闻资讯     |      2019-08-28 01:01

10日,由上海微技术产业研究院建成的8英寸“Beyond Moore”研发试点线正式启动,填补了中国智能传感器领域缺乏小规模中间试验生产线的空白。 MEMS。 随着硅的技术发展接近其物理瓶颈和成本限制,行业专家认为“超越摩尔”的时代已经到来,传统的摩尔定律可能面临颠覆,并且将不再局限于依靠尺寸变化来推进整合电路过程节点。材料,工艺和结构等多维创新更为重要。 MEMS智能传感器是一种新型传感器,具有体积小,成本低,集成度高,智能化等优点。领先的传感器正在迅速发展。 传感器位于整个物联网的基础层,是数据收集的入口点,也是物联网的基石。根据《2016-2017年中国物联网发展年度报告》,到目前为止,中国约有60%的传感器依赖进口,而MEMS智能传感器几乎都依赖进口。 中国科学技术协会副会长,上海微技术产业研究院创始人王伟院士认为,要摆脱MEMS智能传感器对进口的严重依赖,实现中国芯片产业的自主权,必须建立一个独立的8英寸研发。试点线。 8英寸研发试验线的主管尤家杰表示,中国MEMS智能传感器的研究实力并不弱。由于试点测试中断,尚未实现主导产品的开发。 余家杰介绍说,新成立的研发试验线迄今为止规定了每月3,000片晶圆的生产能力,后期将达到5,000片晶圆。 “我们可以支持数百到数千件用户的容量需求。小规模订单首先在试验线上孵化。一旦先前的市场测试成功,大订单就可以转移到大型代工厂并开始批量生产。 “” 据报道,到目前为止,研发试验线一直专注于MEMS智能传感器的开发,并将扩展到新的非数字化,多样化的半导体产品技术创新,如高压器件和生物医学晶片。