中国首条6英寸SiC芯片生产线完成技术调试

 新闻资讯     |      2019-09-13 01:08

近日,CSR时代SiC产业化基地离子注入工艺设备的技术调试工作已经完成,标志着SiC芯片生产线完整设备和工艺调试的全面完成。它具有SiC产品的生产条件,生产线将于下个月正式推出。流。

该生产线是中国第一条6英寸SiC芯片生产线,总投资3.5亿元。它赢得了国家“02”特殊项目和国家发展和改革委员会新材料等国家重点项目的支持,是公司重点投资项目之一。

半导体事业部的SiC器件产业化建设团队在时间紧迫,任务繁重,没有成熟经验的情况下,得到了中国科学院微电子研究所的技术支持和帮助。很难通过各方协调和协调。积极推进和安全完成一系列困难,高风险的任务,如46套(套)流程,检验和测试设备搬入,调试和特殊工厂系统调试。本月初,在各方的共同努力下完成了最终的过程能力调试。到目前为止,生产线的生产线,电源,工艺和测试条件已经完善,可以生产SiC产品的生产条件,可以实现4英寸和6英寸SiC SBD,PiN的研发和制造。MOSFET和其他设备。

作为新型第三代半导体材料的代表,SiC单晶材料可以有效地提高系统效率,降低能耗,减少系统器件体积和重量,并与目前主流的第二代硅基半导体相比有所改进材料。系统可靠性。未来,由半导体SiC材料制成的功率器件将支持当今节能技术的发展趋势,成为节能器件的核心部件。 SiC生产线的工艺调试按期完成。需要改进中国的核心功率半导体器件,抓住未来的高科技和工业制高点。这将有助于公司的半导体产业打下前沿技术领域,抢占市场制高点。