纯度99.999999999%!国产电子级多晶硅不再依赖进口

 新闻资讯     |      2019-12-01 01:08

最终批量生产出纯度要求为99.999999999%的电子级多晶硅。记者6日从江苏新华半导体材料技术有限公司了解到,经过一系列严格的验证和测试,一批集成电路用高纯硅材料最近已经出口到韩国,也正在批量供应给国内一些晶圆加工厂。这标志着中国半导体集成电路用硅材料达到了一级国际质量标准,也是中国多晶硅制造企业首次向国际市场出口高纯度集成电路用硅材料。

电子级多晶硅材料是集成电路的关键基础材料。过去,中国市场上集成电路用多晶硅材料基本上都是进口的。电子级多晶硅是纯度最高的多晶硅材料。与99.9999%的太阳能级多晶硅纯度相比,电子级多晶硅的纯度要求达到99.999999999%。5000吨电子级多晶硅的总杂质含量相当于一枚1元硬币的重量。

2015年12月,新华半导体由国家集成电路产业投资基金和保利协鑫共同投资,建设了全国首条5000吨电子多晶硅半导体集成电路生产线。去年11月8日,协鑫的子公司新华半导体正式发布电子级多晶硅产品。

到目前为止,电子级多晶硅已经得到客户的验证,并大规模销售,打破了国外高纯度材料的长期垄断,填补了国内该行业的技术空白。新华半导体第一条生产线产能5000吨,可确保国内企业在3-5年内不会缺货电子级多晶硅,产品质量可满足40纳米及以下超大规模集成电路12英寸单晶的制造需求。与此同时,还将计划另一条5000吨的生产线,以更好地满足国际和国内市场。